智能化热敏风向风速记录仪的结构介绍

风向风速记录仪的最主要设备是风向风速传感器，传感器的精确度直接影响着测定结果的精确性。风速风向记录仪是记录仪中的一种，用于测定风向风速，风向风速是气象检测中不可或缺的两个因子，因此风速风向记录仪在气象监测以及农业环境检测中，具有很大的应用性。

风速风向传感器种类有采用毕托管测风速、热线热膜测风速、机械式传感器测风速、超声波测风速和三杯式风速传感器测风速,其中,由于热线热膜法不但可以测风速和风向,而且具有体积小重量轻、低价位和精确度高等优点,是未来风速风向传感器的发展方向。由于热线热膜的热灵敏度很高,如果只采用4只相互垂直热阻热膜,从单只电阻上获取信号电压,测量值受环境温度和方位角影响较大。为了降低环境温度和方位角影响,由8条热敏丝电阻(后称热差电阻),每条中点在空间位置相互间隔450°角,分成4组,围成圆形,克服环境温度和不同风向产生的测量误差。

为了减少风向对测量值的影响,提高风速风向测量的准确性。提出二维热差式风速风向传感器,它是一种基于MEMS工艺热流量传感器,利用恒功率方式,根据热温差理论测量风速和风向。其传感器芯片的加热与测温电阻都采用圆形4组对称结构,从而提高风速和风向测量的精度。该传感器在玻璃衬底上利用两步金属剥离工艺加工而成芯片,传感器芯片结构。